是片芯萬(wàn)物互聯(lián)時(shí)代，MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）芯片是智能設(shè)備感知外界的核心“神經(jīng)末梢”，亦是高端半導(dǎo)體與智能制造產(chǎn)業(yè)的重要根基。安徽華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)的正式投產(chǎn)，重點(diǎn)量產(chǎn)慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等，服務(wù)于汽車(chē)電子、高端裝備、光通信與醫(yī)療電子等關(guān)鍵領(lǐng)域，為國(guó)產(chǎn)MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、高端化、自主化發(fā)展注入核心動(dòng)能。
項(xiàng)目概況
據(jù)報(bào)道，該項(xiàng)目總投資50.6億元，坐落于蚌埠市經(jīng)開(kāi)區(qū)中國(guó)傳感谷D區(qū)，占地154畝，建成8.7萬(wàn)平方米的智能化廠(chǎng)房，是國(guó)內(nèi)首個(gè)實(shí)現(xiàn)8英寸MEMS晶圓量產(chǎn)的生產(chǎn)線(xiàn)，加速推進(jìn)“中國(guó)芯”國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，實(shí)現(xiàn)我國(guó)高端MEMS器件自主可控。
視頻來(lái)源：中電二公司
英飛定制化解決方案：
半導(dǎo)體晶圓制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、穩(wěn)定性、安全性、降噪性有著極致嚴(yán)苛的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，通風(fēng)系統(tǒng)作為廠(chǎng)房環(huán)境調(diào)控的核心配套，直接決定生產(chǎn)線(xiàn)良率與生產(chǎn)安全。針對(duì)MEMS芯片制造的特殊工況需求，英飛量身匹配防爆型管道離心風(fēng)機(jī)、邊墻軸流排風(fēng)機(jī)、箱式離心風(fēng)機(jī)等定制化設(shè)備，精準(zhǔn)適配半導(dǎo)體廠(chǎng)房核心生產(chǎn)單元、輔助功能區(qū)域的通風(fēng)換氣、潔凈凈化、防爆排風(fēng)、靜音運(yùn)行等核心剛需，以工業(yè)通風(fēng)硬核技術(shù)，護(hù)航半導(dǎo)體高端智造。
管道離心風(fēng)機(jī)ISQ/YFISQ：“翔欣?”五代后傾離心葉輪，效率高，不過(guò)載；精密雙曲線(xiàn)進(jìn)口文丘里管減少紊流，降低噪音；方形無(wú)蝸殼結(jié)構(gòu)，體積小，重量輕，安裝便捷；葉輪平衡等級(jí)高達(dá)G4.0（AMCA204）。
中低壓離心風(fēng)機(jī)YFBCSR：先進(jìn)的R型葉輪設(shè)計(jì)，效率高、不過(guò)載；葉輪平衡等級(jí)高達(dá)G4.0（AMCA204）；一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)更可靠。
箱式離心風(fēng)機(jī)YFISH：“獵鷹?”系列離心葉輪，效率高，不過(guò)載；低頻噪聲特性，體驗(yàn)更佳；方形設(shè)計(jì)多出風(fēng)方向，節(jié)省安裝費(fèi)；平衡等級(jí)高達(dá)G2.5（AMCA204）；直聯(lián)驅(qū)動(dòng)，無(wú)易損件，免維護(hù)。
邊墻軸流排風(fēng)機(jī)YFWEX/YFWSP：前掠型葉片，漸進(jìn)切削空氣，風(fēng)量大，噪聲低；直聯(lián)驅(qū)動(dòng)，無(wú)易損件，免維護(hù)；平衡等級(jí)高達(dá)G2.5（AMCA204）；方形外殼，極易邊墻安裝。
自項(xiàng)目投產(chǎn)以來(lái)，英飛提供的通風(fēng)設(shè)備持續(xù)穩(wěn)定服役，運(yùn)行參數(shù)精準(zhǔn)可控、性能表現(xiàn)穩(wěn)定優(yōu)異，以高標(biāo)準(zhǔn)的落地成果，交出了高端半導(dǎo)體配套通風(fēng)系統(tǒng)的優(yōu)質(zhì)答卷。
結(jié)語(yǔ)
從華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)到各類(lèi)高端工業(yè)場(chǎng)景的全域通風(fēng)保障項(xiàng)目，英飛始終堅(jiān)守精工標(biāo)準(zhǔn)，持續(xù)加大技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，以更優(yōu)質(zhì)的定制化方案、更可靠的產(chǎn)品品質(zhì)與更完善的服務(wù)體系，賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)智能化、綠色化、自主化升級(jí)，攜手行業(yè)伙伴共筑國(guó)產(chǎn)替代新格局，共創(chuàng)綠色智造新未來(lái)。
