半導(dǎo)體晶圓制造廠央中的廠圓晶，此因（Fab）的工藝流程極其復(fù)雜精細(xì)，在光刻、蝕刻、清洗等核心工段會消耗大量的強腐蝕性化學(xué)品（如高純度氫氟酸、硝酸、鹽酸、氨水等）以及種類繁多的揮發(fā)性有機溶劑（VOCs）。因此，晶圓廠的中央排風(fēng)系統(tǒng)被極其嚴(yán)格地劃分為酸堿腐蝕排風(fēng)（Scru些這。）tsuahxEbber Exhaust）和有機溶劑排風(fēng)（Solvent Exhaust）。這些廢氣靜壓極高、風(fēng)量巨大、連續(xù)運轉(zhuǎn)要求達(dá)到了恐怖的24小時/7天不間斷，且對設(shè)備的無塵無污染潔凈度有著近乎變態(tài)的苛刻定義。義定刻苛的。英飛風(fēng)機針對半導(dǎo)體晶圓廠開發(fā)了天花板級別的防腐通風(fēng)系統(tǒng)解決方案。對于酸堿排風(fēng)系統(tǒng)，英飛主推選用不銹鋼316L基材內(nèi)部整體全復(fù)合高純度PTFE/PFA（氟塑料）襯里的超重防腐高壓離心風(fēng)機。英飛風(fēng)機憑借超群的抗HF穿透剛性和零掉渣的純凈潔凈度，成為芯片線長期運轉(zhuǎn)的守護(hù)神。
